SF6氣體抽真空及回充真空泵

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產品特性：

1 .整體式缸體靜音運行

TXD系列產品采用整體式缸體結構，從結構上保證缸體的精度和變形對真空泵的影響，同時采用頂面切點圓弧設計，使產品的極限真空穩定在4×10 Pa以下。

2 .強制進油系統強制潤滑可靠運行

TXD系列產品采用內置油泵循環強制進油系統，對泵腔進行強制潤滑，因此可以在入口壓強為大氣壓的情況下較長時間工作。

3 .防返油進氣口閥迅速關閉防止返流

TXD系列產品采用自動防返油閥結構，可在停泵時自動切斷被抽系統，保證系統的真空及不被污染。

4 .可調節氣鎮極強的水蒸汽處理能力

TXD系列產品裝有可調節氣鎮，保證極強的耐水蒸汽能力，有效排除可凝性氣體。

5 .大散熱設計低溫運行

結構原理：

真空泵為雙級直聯旋片式真空泵，產品以高可靠性、低噪音和高極限真空度為設計定位，通過采用世界的整體式泵體結構設計，強制油泵潤滑油壓控制系統，同時具有不同滲氣的氣鎮閥設計使得產品在不同使用環境中保持高可靠性。

用途及使用范圍：

TXD系列真空泵是真空應用領域中***基本的真空獲得設備，特別適用于需要獲得高極限真空低噪音環境的科研、教學、實驗室、分析儀器、醫療器械、真空鍍膜等不同真空應用領域。

TXD系列真空泵可作為中、低真空系統的主軸泵，也可以作為羅茨泵、擴散泵、分子泵等中高真空、超高真空系統的前級泵。

泵的技術參數如表：

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